Организация контроля и моделирование технологического процесса. Е. В. Панфилова

Рассмотрены вопросы, связанные с планированием и проведением эксперимента в электронной промышленности и наноинженерии, анализом полученных результатов и практическим применением методов моделирования технологического процесса и параметров его продукта. Представлена методология планирования и обработки результатов многофакторного эксперимента. Описано домашнее задание и даны рекомендации к его выполнению. Для студентов, изучающих дисциплины «Техника эксперимента в электронике и наноэлектронике», «Научно-исследовательская работа», «Анализ и синтез технических решений».