Название:
Автор книги:
Категория произведения:
Литературная серия:
Издательство:
Год выпуска:
2015
isbn:
978-5-7038-4141-9
Учебное пособие содержит материалы о методах формирования и исследования микро- и наноструктур. Основное внимание уделено лабораторному практикуму по наукоемким технологиям микро- и наноэлектроники. Для студентов, обучающихся по направлениям «Конструирование и технология электронных средств» (211000), «Наноинженерия» (152200), «Радиотехника» (210400).
