Приборно-технологическое моделирование в системе TCAD Sentaurus. А. А. Глушко

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Автор книги:
Категория произведения:
Литературная серия:
Год выпуска:
2015
isbn:
978-5-7038-4177-8
Рассмотрена система TCAD Sentaurus приборно-технологического моделирования процессов формирования элементов интегральных микросхем, а также моделирования физических процессов, протекающих в этих элементах при различных условиях эксплуатации. Система представляет собой комплекс программ, развернутых на удаленном сервере под управлением операционных систем, подобных Linux. Для студентов, обучающихся по специальности «Проектирование и технология производства электронной аппаратуры».

Лучшие книги издательства МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)