Название:
Автор книги:
Категория произведения:
Литературная серия:
Издательство:
Год выпуска:
2011
isbn:
В учебном пособии представлены общие сведения о технологии интегральных микросхем, дана их классификация и кратко описаны основные технологические операции. Основное внимание уделено технологии полупроводниковых микросхем. Рассмотрены также операции изготовления гибридных интегральных микросхем.
