Название:
Автор книги:
Категория произведения:
Литературная серия:
Издательство:
Год выпуска:
2015
isbn:
В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий».
