Название:
Автор книги:
Категория произведения:
Литературная серия:
Издательство:
Год выпуска:
2013
isbn:
Рассмотрены физические и технологические основы наноэлектроники. Описаны подходы, позволяющие формировать элементы электронной техники в приборах и устройствах наноэлектроники. Проанализированы тенденции развития наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм.
