Название:
Автор книги:
Категория произведения:
Литературная серия:
Издательство:
Год выпуска:
2007
isbn:
В методических указаниях рассматриваются принципы расчета режимов ионной имплантации при формировании структур n+–p–p+(p+–n–n+)-типа и профилей распределения имплантированной примеси. Излагается методика расчета в программе Math Cad 2001.
