термической и химической обработки плёнок после напыления. При этом каждому полупроводниковому материалу соответствует свой оптимальный режим и часто небольшие отклонения от него даже по одному из параметров приводят к исчезновению термоэффекта в изготовляемых плёнках. По этому разработка технология получения плёночного термогенератора из того или иного материала требует проведения большой экспериментальной работы, большого количества пробных напыления при последовательном варьировании нескольких технологических параметров, их сочетаний и нахождения параметров, специфичных для получения тармоэффекта на плёнках из данного полупроводникового материала.
Нами разработана технология получения термогенератора с материалов Bi-Sb.
Плёночные термогенераторы получались напылением полупроводникового материала из тигеля в вакууме ~10—5 мм рт. ст. на различные подложки (алюминий, мед, латунь железо, слюда, сапфир и керамика) нагретые от 20—250°С и расположенные под углом 90° по направлению молекулярного пучка.
Разработан оптимальный режим и подобрана подложка для плёночного термогенератора на основе Bi-Sb.
Полученные термогенераторы генерирует 60 мА и 50 мВ при температуре 200—2500 С.
Расширяется фронт конструкторских разработок и исследуется электро и теплофизические свойства полученных термогенераторов на основе Bi-Sb.
Литература
1. Лайнер Д. И. и др. Термоэлектрические свойства полупроводников. – М: АНСССР, 1963.
2. Берченко М.А и др. Электронная обработка материалов. – Кишинев,1975.
3. Набиев МБ., Усмонов Я., Атакулов Ш. Б., Онаркулов К. Э. Легирующая добавка для термоэлектрического материала п – типа тройного сплава В12Те3– В123е3. – Вестник ФерГУ, 2012, вып. №2.
4. ЮлдашалиевД. К, Усмонов. Я, Ахмедов, Б.Х.Каримов. Получение и исследование термоэлектрических материалов под давлением инертного газа для термопреобразователя. Наука и мир. Международный научный журнал, г. Волгоград.№1 (89), 2021,том 1С.30—35.
5. ЮлдашалиевД. К, Усмонов. Я, Ахмедов, Б. Х. Каримов. Исследование физических параметров термоэлектрических материалов Bi2Te3-Sb2Te3.Наука и мир. Международный научный журнал, г. Волгоград.№11 (99), 2021.
6. Каримов Б. Х. Elektronika asoslari. Учебное пособие. – [б.м.]: Научная школа «Электрон», Издательские решения. Ридеро, 2022. – 176 с.
7. Алиев И. Х., Каримов Б. Х. Курс физики ускорителей заряженных частиц. Учебное пособие. – [б.м.]: Научная школа «Электрон», Издательские решения. Ридеро, 2022. – 203 с.
8. Алиев И. Х., Каримов Б. Х., Каримов Ш. Б., Юлдошалиев Д. К. Промышленные и альтернативные аэраторы на основе зелёной энергетики для рыбных водоёмов. Монография. – [б.м.]: Научная школа «Электрон», Издательские решения. Ридеро, 2022. – 221 с.
9. Алиев И. Х., Бурнашев М. А. Ингенциальная математика. Монография. – [б.м.]: Научная школа
