образом, в зависимости от поставленной цели: хранение, адресная доставка или пролонгированное действие, можно направлено регулировать процесс высвобождения субстратов путем варьирования вышеуказанных факторов в широком временном диапазоне. С точки зрения биотехнологий особенно актуально, что были синтезированы капсулы нанометрового диапазона.
МНОГОФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ПЛЕНКИ НА ОСНОВЕ ФАЗ SI-C-N, ПОЛУЧЕННЫЕ ИЗ БИС(ТРИМЕТИЛСИЛИЛ)ЭТИЛАМИНА
Цель научной работы: разработка плазмохимического синтеза и исследование состава, химической структуры и функциональных свойств пленок карбонитрида кремния.
Методы исследований, использованные в работе:
➢ плазмостимулированное химическое осаждение пленок из газовой фазы PE CVD;
➢ эллипсометрия;
➢ ИК-спектроскопия;
➢ КР-спектроскопия;
➢ энергодисперсионная спектроскопия (ЭДС);
➢ спектрофотометрия;
➢ наноиндентирование.
Основные результаты научного исследования:
➢ Разработан метод синтеза пленок состава SiCxNy:H и SiCxNy c использованием бис(триметилсилил)этиламина.
➢ Методами ИК-, КР – спектроскопии и ЭДС изучены химическая структура и элементный состав полученных пленок. Установлены следующие закономерности. При увеличении температуры синтеза уменьшается содержание водородных связей: при низких температурах осаждения проявляется связывание Si-C, Si-N, Si-O, N-H, C-H, Si-CH3, в то время как в высокотемпературных пленках преобладают связи Si-C. В зависимости от состава газовой смеси меняется содержание азота в составе пленок: введение аммиака приводит к увеличению содержания азота. Обнаружено наличие зерен графита в высокотемпературных пленках.
➢ Показано, что оптическая прозрачность, оптическая ширина запрещенной зоны и микротвердость материала чувствительны к наличию графита: происходит уменьшение этих параметров для пленок, в которых содержится дополнительная фаза углерода.
➢ Получены пленки состава SiCxNy:H с оптической прозрачностью до 95 % и пленки состава SiCxNy с микротвердостью до 21,5 ГПа.
ОСАЖДЕНИЕ ПОКРЫТИЙ КАРБИДОВ ТУГОПЛАВКИХ МЕТАЛЛОВ НА МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ И НЕМЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОДЛОЖКИ ИЗ ИОННЫХ РАСПЛАВОВ
Цель научной работы: Электрохимическое получение покрытий карбидов тугоплавких металлов на металлические и неметаллические подложки из ионных расплавов.
Методы исследований, использованные в работе: вольтамперометрия, при различных скоростях поляризации (стационарный и нестационарный режим), потенциостатический и гальваностатически йэлектролиз, рентгенофазовый метод изучения фазового
