уменьшается и, как следствие, разрешение изображения ухудшается. Для исследования образцов в высоком разрешении используют минимальное рабочее расстояние.
К искажениям изображения приводит накопление электрического заряда. Первичные электроны имеют отрицательный электрический заряд, который накапливается в образце в процессе сканирования и часть из которого уносится отраженными и вторичными электронами. Если образец является диэлектриком, в приповерхностных слоях происходит накопление отрицательного заряда, что приводит к отклонению пучка первичных электронов и изменению выхода вторичных электронов. Уменьшить влияние зарядки образца можно несколькими путями: подбор ускоряющего напряжения (уменьшение ускоряющего напряжения снимает излишнюю зарядку образца), нанесение проводящего покрытия и использование низкого вакуума. Если проводимость образца достаточна, проблема накопления заряда решается путем заземления образца.
При настройке яркости и контрастности необходимо руководствоваться принципом максимальной информативности изображения. Избыточная контрастность и недостаточная яркость либо недостаточная контрастность и избыточная яркость приводят к появлению областей, детали которых на изображении становятся неразличимыми.
Скорость сканирования также сильно влияет на качество изображения. Быстрое сканирование приводит к ухудшению соотношения сигнал/шум, изображение будет нечетким, однако уменьшение скорости сканирования приводит к увеличению времени воздействия электронного пучка на образец, что в свою очередь может привести к необратимым изменениям в исследуемом образце.
2.2. Энергодисперсионный рентгеноспектральный микроанализ
Рентгеноспектральный микроанализ (РСМА) – метод химического анализа микрообласти образца, метод основан на регистрации характеристического излучения, возникающего в результате взаимодействия сфокусированного электронного зонда с образцом. Объектами исследования могут служить материалы, которые не разрушаются под воздействием высокоэнергетического электронного пучка. Регистрирующим детектором является полупроводниковый охлаждаемый диод.
Спектрометры с энергетической дисперсией регистрируют всё рентгеновское излучение одновременно; т.е. накапливается весь спектр сразу, в отличие от волнодисперсионной системы, где идёт последовательное сканирование спектра. Разложение рентгеновского сигнала производится электронным устройством с использованием амплитудного анализатора импульсов; измеренную амплитуду импульса сопоставляют с энергией фотона.
Реализация энергодисперсионного рентгеноспектрального микроанализа возможна при исследовании объектов в сканирующем электронном микроскопе. Как уже говорилось выше, часть первичных электронов возбуждает атомы вещества объекта, вызывая при этом эмиссию характеристического
